1. 北微微电机厂真空泵换油
换油方法：
（1）将旋片真空泵拆除真空系统，把底盘电机一端垫高些，打开放油塞放油，转动真空泵、捂住排气口，使腔内污油全部从放油口放出，再从进气口处加入新油100—500ml持续转动5—10转以上对，内部进行清洗，照此操作3—5次，特污油放清后，再装上放油塞，将泵放平，从进气口及加油孔分别加入新油，换油。
（2）换油时不宜长久开动电机，以免使排气阀片跳动过于剧烈和疲劳。
（3）严禁用煤油、汽油、酒精等对泵作非拆卸的清洗。
2. 真空泵换油怎么换
真空泵在工作的第一个月，每过 100小时需更换润滑油，以后每500小时换油一次。且需经常调整填料压盖，保证填料室内的滴漏情况正常（一般在成滴漏出时为正常）。定期检查轴套的磨损情况，磨损较大后应及时更换。
3. 真空泵油怎么换
原因和方法：
（1）止回阀未关好，停泵后，油位很快下降。可再开再停观察变化或拆开检查。
（2）两泵盖内油封装配不当或磨损，可进行调换。
（3）泵盖或泵身平面不平整，可进行修整。
（4）排气阀片损坏，可进行调换。
4. 真空泵如何换油
旋片真空泵清洗，换油步骤：
1、停旋片式真空泵将热油放掉。
2、旋上放油塞运转5~10秒。
3、将油放尽。
4、注入清洗用油(32号普通机械油)到油窗高度的3/4处。
5、运转旋片式真空泵5~10分钟。
6、停泵，将油放掉。如油尚不能达到要求，重复4、5步骤。
7、旋上放油塞运转5~10钞。
8、将油放尽。
9、注入规定的新旋片式真空泵油。
5. 真空泵换泵油
1. 将冷却水和真空泵油放出来，卸下皮带防护罩，取下三角带和皮带轮；
2. 卸油箱组件，拆真空泵油雾分离器组件，取下真空滤油器组件，再卸下排气管，拆排气阀组件，最后拆进气管；
3. 卸泵的油管以及油泵轴；
4. 拆密封配件以及轴承盖，取下左右两边的端盖和轴承，然后拆卸滑阀组件及导轨组件；
5. 拆卸偏心轮平键及轴。
滑阀泵拆泵的流程与装泵的流程相反，在拆装过程中注意观察真空泵油雾分离器和泵油的状态。
拆泵时需要注意哪些点：
1. 请勿直接使用铁锤去敲击加工面，避免装卸时碰伤；
2. 需要将零部件在安装前进行清洁操作并保持干燥；
3. 注意泵装好后密封的地方不能出现漏气、漏油的现象，检查滑阀泵过滤器密封圈以及所有的密封组件；
4. 泵在装好后完应进行全性能的试验，如果不具备测试的条件，最少也要试验一下泵的极限真空度。
6. 更换真空泵
真空泵拆卸方法可参考：
1、首先拆下接循环水的供水管路及真空泵进口管路和出气管路。
2、然后拆卸真空泵泵体上面的紧固螺栓的把泵盖取下，随后用专用工具取出叶轮及键。
3、真空泵除了水环真空泵是采用机械密封以外都是采用填料密封，所以需要拆卸填料压盖，然后把里面的填料及填料环取出来。
4、把真空泵与支架的连接螺栓松掉，这时可以把整个泵体取下来了。
5、泵轴和轴承在没有损坏的情况下是用不着拆卸的，如果需要拆卸，必须先把轴承箱里面的润滑油放干净，然后再拆卸轴承盖板和联轴器，向泵体方向拆卸泵轴即可。
7. 微油螺杆真空泵
优点：应用范围较宽，适合抽除大量水蒸汽，有机溶剂等，对粉尘，颗粒物不敏感，可以实现对易燃易爆的气体的抽除、压缩。
缺点：效率较低，真空度较差，工作液的种类及温度对真空度及抽气速率影响较大，环保压力大。
8. 更换真空泵油
一、取出旧排气过滤器，用到以下方法：
1.切断电源，关闭真空泵；
2.断开管道或进气口连接前，须保证通大气压，可移开排气管路；
3.打开排气箱盖，拧松中央弹簧，不要直接拆下，这里要注意保护眼睛，有必要戴上护目镜，放置弹簧弹出危害个人安全；
4.拆下弹簧需要借助专门的工具，按住凹槽处弹簧方可边旋边取下；
5.取出过滤器；
二、将新的排气过滤器更换上去，用到以下几个步骤：
1.确保新的过滤器安装完整，检查密封圈是否有和是否安装到位；
2.装入排气过滤器，确保过滤器端口在排气箱正确位置处，端口需契合；
3.安装弹簧螺丝，距离弹簧顶端处3-5转位置处；
4.使弹簧安装在油雾分离箱插座上，同时，螺丝安装在油雾分离器凹槽处，这里需要用到专门的工具，切勿盲目空手操作；
5.拧紧弹簧螺丝；
6.确保排气端盖密封垫的完好无损，不带杂质；
7.最后安装好排气端盖以及油雾分离箱上的螺栓和垫圈，可连接排气管路
9. 真空泵油需要更换吗
因素一：真空泵油的使用环境。一般真空泵油在使用的时候，是在不同的工作环境下使用的，因此一定要针对不同的工作环境进行使用，像是如果工作温度比较低，而且抽取干燥的气体，那么每隔五百到两个小时，或者是每隔半年，就需要更换真空泵油。如果说工作环境十分恶劣，而且经常使用的话，要注意少于五百个小时的时候就要进行更换。
因素二：注意观察真空泵油的颜色变化。一般真空泵油在使用的过程中是会出现颜色变化的，所以如果有颜色上的变化，例如是出现褐色，那就需要进行换油，因为这个时候的真空泵油已经变质，如果不及时更换，就不会发挥其中的作用。
因素三：真空泵油的位置。真空泵油的液位位置变化比较大的时候，一定要注意位置的变化，如果在没有加油的时候，升高了 一些，就需要考虑是否有气体融合。还有就是如果出现下降，也需要进行更换或者是添加。